一、产品简介

光学薄膜的物理厚度是薄膜最基本的参数之一，它会影响整个器件的最终性能，因此快速而精确地测量薄膜厚度具有重要的意义。随着计算机、CCD 技术及微刻蚀技术的发展，微型光谱仪成为了实验室光谱分析的重要工具。我司数字光谱仪选用 Richardson 闪耀光栅，灵敏度提升 20%，杂散光降低 50%。同时，采用双闪耀技术，搭载紫外敏化 CCD，第一次将有效波段拓展至 200~1100nm。而这一切都被放在了全新设计的 72.5mm焦距 / 对称/ 非交叉 C-T 光学平台之中。可达到最低0.1nm 的光谱分辨率；具有波长探测范围较宽，高稳定性，可编程控制，设计紧凑，便于携带和测量等优势，在光电检测设备、环境检测系统、色彩侦测管理、医学检测和光谱分析方面都有广泛的应用。基于白光干涉的原理，利用我司微型数字光谱仪通过数学函数被可以比较精确的计算出薄膜厚度。

二、知识点

白光干涉、微型光谱仪、Y 型光纤、透射光谱、反射光谱、光谱分辨率

三 、涉及课程

光学、光电子技术、光电检测、光谱分析、光谱应用技术

四、实验内容

1、了解白光干涉原理

2、动手搭建薄膜测厚系统

3、测量不同样品膜厚

五、实验配置

光谱仪、标准光源、Y 型光纤、待测样品、膜厚采集及分析软件、实验讲义

备注：本实验系统可选配电脑，客户自行购买，亦可由我司代购，价格另计。